авторЮ. Б. ЦветковКогнитивное моделированиеКонтактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. ПрактикумМетоды литографии в наноинженерииПроектирование учебников для инженерного образованияПроцессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2Физические основы микро- и нанотехнологий
Буклинкер
