Буклинкер
автор

Юрий Панфилов

Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерииВысоковакуумные технологические процессы в приборостроенииМетоды микроскопииФизико-механические компоненты наносистемФизические основы микро- и нанотехнологийФормирование функциональных слоевЭлионные процессы и нанотехнологии