автор
Валерий Михайлов
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии
Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении
Механизмы прецизионных перемещений
Расчет вакуумных систем технологического оборудования
Физико-механические компоненты наносистем
Физические основы микро- и нанотехнологий
Физические процессы в вакууме и полупроводниковых структурах и их использование в электронных приборах