авторСергей БычковМосква. ПутеводительСанкт-Петербург – Северная Венеция. ПутеводительТехнология производства электровакуумных приборов: термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процессаФизические основы микро- и нанотехнологий