автор
В. В. Макарчук
Автоматизированное проектирование наносистем
Методы литографии в наноинженерии
Организация и проведение преддипломной практики для бакалавриата по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств»
Проектирование электронной элементной базы наносистем
Технологические процессы в наноинженерии
Технологические процессы изготовления электронной компонентной базы приборостроения. Том 1
Технологические процессы микроэлектроники