авторБорис КольцовМетоды исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 1. Сканирующая зондовая микроскопияОпределение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии
Буклинкер
