Буклинкер
автор

Александр Величко

Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрииХимико-технологические основы микро- и наноэлектроники